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[0002] 在半导体自造中,对于40/45nm 制程的产品,在完成接触孔刻蚀(CT Etch)制程. 后,晶圆到CT 酸槽的等待时间(Qtime)很短(最大不能超过120 分钟),如果按照25 片晶.
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在半導體廠生產管理中，決定如何將晶片分派給機台加工(Dispatching)的問題早 ... It means that if Lot‟s Qtime > AQtime, then Lot goes to upper class.